一种应用于气瓶内壁的超洁净处理技术,用于处理存放超纯气体（特别是半导体工艺所使用的）的气瓶内壁。放高清的显微镜下观察,气瓶的内壁是粗糙的,气瓶粗糙表面会粘着一些微细的杂质,当其被释放时,会对超纯的气体造成污染。

由于纯化气体在半导体行业内的应用变得越来越复杂，再微细的污染源也可能对生产设备及产品带来不可挽救的后果。

NanoClean的处理方法能尽可能避免了气瓶及阀门释放出污染物，有效地提高了半导体行业产品的质量及性能。